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總經銷ULVAC愛發科 離子泵控制器PST系列用控制器
總經銷ULVAC愛發科 離子泵控制器PST系列用控制器
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統
蒸發設備、濺射設備等著排氣系統
H2、He等輕氣體主排氣系統
| 可連接泵 | Actor 泵（PST 系列所有型號） | |
| 工作壓力 | 10 -2 至 10 -4 Pa 或更低 | |
| 顯示范圍 | 顯示方式 | 數字顯示（7段LED） |
| 顯示內容 | ||
| a）輸出電流顯示 | 自動選擇2個量程：mA、μA（線性顯示） | |
| b）輸出電壓顯示 | 0.0 至 7.5 kV (H 或 L)（1 量程線性顯示） | |
| c）壓力顯示 | Pa、mbr (1×10 -8～1×10 -2 Pa) (1×10 -10～ 1×10 -4 mbar) | |
| 輸出釋放電壓 | DC+7.5kV （2 點，高和低，可使用前面板開關選擇；高/低壓設置可使用微調器在約 1.0 至 7.5kV 范圍內調節） | |
| 輸出電流 | 小于DC31mA | |
| 輸入電壓/電流 | AC100～115V±10% ? 50/60Hz～3.0A AC200～240V±10% ? 50/60Hz～1.5A | |
| MONITOR端子輸出信號 | 信號輸出與7段面板顯示成比例，每個范圍DC 0至10V滿量程，超過100kΩ | |
| 壓力設定點 | 2 分 | |
| 遠程/本地 | 可通過面板開關選擇 | |
| 外部控制功能 | 配備各種輸入/輸出功能（配備 REMOTE 連接器）（遠程、RS-232C 通信控制） | |
| 保護功能 | 錯誤顯示/提供各種保護功能 高壓（HV）輸出關閉 ERR 0 至 5 亮 啟動保護定時器設置（1 至 255 分鐘可調） 斷電后自動保留（HV 保持開關操作） | |
| 環境工作條件 | 溫度 | 0～40℃ |
| 濕度 | 小于85%（無結露） | |
| 配件 | 輸出電纜（5m）、輸入電纜（3m） | |
| 重量 | 主機：約4kg，電纜：約1.0kg（標準） | |
| 尺寸（寬 x 高 x 深） | 240 x 99 x 370 毫米 {200 x 99 x 370 毫米（不包括機架安裝支架）} | |
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